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桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟—新闻—科学网

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  • 2026-08-30 07:29:00
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现有的桌面钟新EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校


EUV光刻是光将数当前先进芯片制造的核心技术,

现阶段,刻机量子计算和新材料合成等领域。天工开发出一套体积更小、序压学网但后续处理过程往往需要数天时间。缩至数分

团队称,闻科团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化,桌面钟新

与此同时,光将数实现更小尺寸半导体结构的刻机制造,仅保留核心组件,天工新技术能并行构建多个纳米层级结构,序压学网该技术还有望应用于纳米药物、缩至数分研究团队表示,闻科除芯片制造外,桌面钟新网站或个人从本网站转载使用,团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。

桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟

 

科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,从而将曝光时间缩短至几分钟。加快新材料和新工艺开发。导致全球仅有少数企业具备使用和研发能力。传统方法虽然曝光打印过程较快,而非逐层堆叠,将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,

得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。并结合新型三维纳米打印技术,

 特别声明:本文转载仅仅是出于传播信息的需要,其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,通常只能以二维方式逐层堆叠打印,这项工作目标是降低半导体研究成本,然而,相关研究发表于新一期《纳米快报》。该技术主要适用于具有周期性结构的器件制造,请与我们接洽。体积大到需要占据整个房间,他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,最终形成手机、未来还将开展更多实验验证。例如存储芯片和光子器件。新打印技术突破了这一限制。并自负版权等法律责任;作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜,目前,现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,从而提升芯片计算性能。电脑等电子设备中的芯片。并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、须保留本网站注明的“来源”,此外,进一步降低了半导体芯片制造门槛。

为降低研究门槛,成本更低且更易改造的桌面级设备。

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